[实用新型]一种全自动高效单晶硅双面抛光机

摘要

本实用新型公开了一种全自动高效单晶硅双面抛光机，涉及单晶硅加工领域，包括底座，所述底座顶部的正中设置有承台，承台底部的四角分别固定连接有弹力伸缩导杆，底座顶部的两侧对称固定连接有支撑台，两个支撑台相对一侧的中部对称设置有爪形夹持夹具，爪形夹持夹具远离支撑台一侧的正中活动连接有延长轴，延长轴远离爪形夹持夹具的一端固定连接有打磨头，爪形夹持夹具另一侧的正中固定连接有转动轴。本实用新型所述的一种全自动高效单晶硅双面抛光机，使压板靠近承台对单晶硅进行夹持，通过在承台的底部设置缓冲区域，在夹持过程中缓慢增加对异形单晶硅支撑点的压力，方便对单晶硅进行固定，进而为加工提供便利。