[实用新型]一种圆片盒清洗烘干的载体装置有效

专利信息
申请号: 202021749704.6 申请日: 2020-08-20
公开(公告)号: CN212695129U 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 程玉学 申请(专利权)人: 三河市致欣科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 065201 河北省廊坊市三河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种圆片盒清洗烘干的载体装置,包括底框,所述底框两侧框壁上方分别对应设置固定杆,固定杆为拱形杆,所述固定杆底部垂直安装在底框两侧,两侧固定杆外侧均设置挡板,挡板两侧沿底框前部框壁方向设置支撑板,支撑板垂直安装在挡板上,所述两侧挡板内壁设置若干组支撑杆,支撑杆相对方向侧壁均对应设置若干等距离分布的导轨槽,本实用新型提供一种圆片盒清洗烘干的载体装置,工作时,将圆晶片盒放置在支撑杆侧壁的导轨槽内,通过支撑杆对导轨槽内的圆晶片盒进行稳固,利用驱动电机传动,带动旋转轴转动,进行偏心运动,实现圆晶片盒在清洗烘干过程中处于运动状态,清洗不留死角,干燥充分,提升圆晶片盒清洗工作的效率。
搜索关键词: 一种 圆片盒 清洗 烘干 载体 装置
【主权项】:
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