[实用新型]集成电路有效
| 申请号： | 202021750350.7 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN212676238U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | A·马扎基;A·雷尼耶;S·尼埃尔 | 申请（专利权）人： | 意法半导体（克洛尔2）公司;意法半导体(鲁塞)公司 |
| 主分类号： | H01L21/82 | 分类号： | H01L21/82;H01L27/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫昊 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在此公开了一种集成电路，包括：半导体衬底；电容器，包括：衬底中的第一阱，形成电容器第一板；垂直延伸到第一阱中的第一沟槽，其包括通过第一绝缘层与第一阱绝缘的第一中心导体；衬底第一阱上的顶表面上有第一厚度的第二绝缘层；和第二绝缘层上的电连接第一中心导体的第一导电材料层，其和第一中心导体形成电容器第二板；和存储器单元，包括：衬底中的第二阱；垂直延伸到第二阱中的第二沟槽，其包括通过第三绝缘层与第二阱绝缘的第二中心导体，其形成存储器单元的存取晶体管的栅极电极；衬底第二阱上的顶表面上的第四绝缘层，其有小于第一厚度的第二厚度；和第四绝缘层上的第二导电材料层，其形成存储器单元的浮置栅极晶体管的浮置栅极电极。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
