[实用新型]电镀载具有效
申请号: | 202021764526.4 | 申请日: | 2020-08-21 |
公开(公告)号: | CN212451705U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 刘翔;王荣荣;周祖源;吴政达 | 申请(专利权)人: | 中芯长电半导体(江阴)有限公司 |
主分类号: | C25D17/06 | 分类号: | C25D17/06;C25D7/12 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 214437 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种电镀载具。电镀载具包括阳极底板、导电板及盖板,导电板包括导电板本体及导电线,阳极底板上设置有容纳凹槽及线槽,导电板本体嵌设于容纳凹槽内,导电线嵌设于线槽内,待电镀的晶圆位于导电板本体的表面,盖板覆盖晶圆的周向边缘,盖板与阳极底板相固定。本实用新型经改善的结构设计,采用导电板将待电镀的晶圆与电源电连接,而无需在阳极底板上另外设置导电线,可以有效确保晶圆在电镀过程中的电连接,可以有效提高电镀品质,减少晶圆污染,且有助于延长电镀载具的使用寿命,降低生产成本。采用本实用新型的电镀载具进行的电镀方法,有助于提高电镀质量和降低电镀成本。 | ||
搜索关键词: | 电镀 | ||
【主权项】:
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