[实用新型]装片银浆残余检测机构有效
申请号: | 202021775388.X | 申请日: | 2020-08-21 |
公开(公告)号: | CN213023613U | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 朱冬成 | 申请(专利权)人: | 南通斯康泰智能装备有限公司 |
主分类号: | G01V8/10 | 分类号: | G01V8/10 |
代理公司: | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人: | 刘林峰 |
地址: | 226000 江苏省南通市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种装片银浆残余检测机构,涉及半导体生产辅助设备技术领域,解决了有的胶管还残余很多就进行了更换,有的胶管胶量用光还在正常作业,大大的增加了生产成本和芯片成本,同时也增加了后续的返工成本。包括安装板,所述安装板上连接有管安装座以及滑块,所述管安装座内设有银浆管;所述滑块连接有沿银浆管径向滑移的传感器、驱动传感器抵接于银浆管外壁的弹性件,传感器用于在其对准高度上感应银浆管内是否还有银浆。达到了可以自由更换大小胶管,操作简单,运行稳定,在预设的位置可以有效的检测胶量残余,避免胶量残余过多和太少而带来的相关问题,大大节约了生产成本,避免相关生产事故发生的效果。 | ||
搜索关键词: | 装片银浆 残余 检测 机构 | ||
【主权项】:
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