[实用新型]一种硅片吸盘有效
| 申请号： | 202021780832.7 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN213415523U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;梁齐辉 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/91;B25J19/00 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 刘相宇 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片输送技术领域，涉及一种硅片吸盘。本实用新型可对硅片保持竖直状态进行抓取，通过主体和横板对硅片进行吸附，通过主吸气孔和副吸气孔配合可提供足够的吸附力不会使竖直状态的硅片掉落，有效改善整个吸盘的密闭性，从而保持了吸盘吸紧硅片的持久性，主体和横板可增大与硅片的接触面积，可提供足够的支撑面不会使硅片在运动中不会颤动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 吸盘 | ||
【主权项】：
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