[实用新型]一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的清洗装置有效
| 申请号： | 202021790363.7 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN212944360U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 丁建 | 申请（专利权）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00;F28D1/047 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址： | 832000 新疆维吾尔自治区石*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的清洗装置，其包括:容器、支撑件和加热组件；容器具有上端开口的容腔；容器上具有第一进液口，第一进液口与容腔连通，用于输入脱盐水；容器上具有第二进液口，第二进液口与容腔连通，用于输入碱液；容器的底部设置有排液口，排液口与容腔连通；支撑件设置在容腔内，用于放置氮化硅磁环；支撑件被容器支撑水平设置；支撑件上具有通孔；支撑件位于第一进液口和第二进液口的下方；加热组件设置在容腔内，位于支撑件的下方；加热组件上具有蒸汽入口；加热组件上具有蒸汽出口。采用本实用新型能够能够减少氮化硅陶瓷环的转运次数，提升清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 氮化 陶瓷 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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