[实用新型]离子过滤装置有效
| 申请号： | 202021793155.2 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN212675361U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 刘云飞 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杜娟;骆希聪 |
| 地址： | 430079 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光阻去除工艺中的离子过滤装置，所述光阻去除工艺在反应腔室内进行，其特征在于，包括：适于放置在所述反应腔室内的多个过滤板，所述多个过滤板沿第一平面相互平行设置，每个所述过滤板上包括多个过滤孔，所述多个过滤板上的过滤孔相互配合形成沿第二方向导通的通孔，至少一个过滤板能够相对于其他过滤板在所述第一平面内移动或旋转以改变所述通孔的大小和位置分布，所述通孔用于阻止所述光阻去除工艺中所产生的离子通过；其中，所述第二方向垂直于所述第一平面。该离子过滤装置可以有效地阻止离子通过，提高了光阻去除过程的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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