[实用新型]一种晶圆机台机架箱体的抽气系统及其风扇安装支架有效
| 申请号： | 202021799088.5 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN212985631U | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 别成荣 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/64 | 分类号： | F04D29/64;F04D25/08;F04D25/16;F04D27/00;H01L21/67;F16M13/02;F16M11/04 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 陈黎明;宋薇薇 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于晶圆机台的风扇安装支架，包括：支架主体，支架主体是包括空腔的直板形主体，并且支架主体的一端延伸出延伸部；延伸部包含空腔；进气部，该进气部设置在延伸部上；出气部，该出气部设置在支架主体的另一端上；其中，与进气部相对的延伸部侧面与支架主体形成钝角。本实用新型还涉及一种晶圆机台机架箱体的抽气系统。本实用新型的系统将直流风扇升级为涡轮风扇，避免叶片摩擦其它部件产生碎片颗粒，影响洁净度，通过风扇安装支架的改造，将风扇下移动，避免风扇正对晶圆承载平台。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机台 机架 箱体 系统 及其 风扇 安装 支架 | ||
【主权项】：
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