[实用新型]一种晶圆片铲片机构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆片铲片机构，包括底座，所述底座的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板的上方设置有控制箱，所述底座的底端固定连接有支腿，所述支腿的一侧设置有电机，所述支撑板的侧壁贯穿设置有第二转轴，所述第二转轴的一端固定连接有第二皮带轮和齿轮，所述运送区包括传送辊，所述传送辊的顶端设置有载物板，所述控制箱的底端固定连接有电气箱，所述控制箱的顶端固定连接有连接杆，所述连接杆的底端固定连接有气缸，所述气缸的侧壁贯穿设置有伸缩杆，所述伸缩杆的一端固定连接有转动盘，所述转动盘的底端贯穿设置有抓手，所述抓手的侧壁底端固定连接有斜铲。本实用新型中，可以自动高效的对晶圆片进行下片处理。