[实用新型]一种晶圆喷砂机有效
| 申请号： | 202021817743.5 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN213136393U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 姬煜;赵通 | 申请（专利权）人： | 江苏无恙半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24C3/32 | 分类号： | B24C3/32;B24C9/00 |
| 代理公司： | 深圳至诚化育知识产权代理事务所(普通合伙) 44728 | 代理人： | 涂柳晓 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆喷砂机，涉及晶圆加工领域。该晶圆喷砂机，包括装置主体、喷砂罐、第一带轮，所述装置主体的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆，且转动杆与第一带轮相连，所述转动杆的一端固定连接有调节箱，所述调节箱的内部设置有移动板，所述移动板的侧壁固定连接有连接杆，所述调节箱的内底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴的顶部固定连接有调节轮，所述装置主体的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机。通过对分离机构的设计，使得该喷砂机在进行使用时能够有效的对砂石与大块的碎石进行筛分，进入避免影响后期的喷砂加工以及产生大量的灰尘，并且对砂石与碎石的收取方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷砂机 | ||
【主权项】：
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