[实用新型]一种晶圆盒充气装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆盒充气装置，包括操作箱，所述操作箱内部中端固定连接有支撑板，所述支撑板顶端固定连接有第二固定座，所述第二固定座顶端固定连接有净气室，所述净气室一端相通连接有干燥管，所述干燥管靠近净气室一端安装有电热丝，所述干燥管中部安装有第二气泵。本实用新型中，当需要充气时，关闭第二阀门，打开第一气泵，一边通过空气流通管涌出的空气覆盖晶圆盒内的空气，一边通过收气管将晶圆盒内原本的空气排出，循环一段时间后，待晶圆盒内的气体完全的换过一遍后，关闭第一阀门，打开第二阀门，通过充气口充氮气，操作简单且充气效果较好，有效节减部件且降低了劳动强度及劳动难度。