[实用新型]一种可冷却铜盘的探针台有效
| 申请号： | 202021828447.5 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN212905055U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 吴俊;陈凯跃 | 申请（专利权）人： | 珠海市中芯集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 卢泽明 |
| 地址： | 519000 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及芯片测试设备技术领域，尤其涉及一种可冷却铜盘的探针台，包括：基座；铜盘，连接有驱动机构，可转动设置在所述基座上；第一冷却组件，包括可拆卸安装在所述基座上的主体，所述主体上靠近所述铜盘的一端设置有气嘴，所述气嘴连接有外置的冷却管；第二冷却组件，固定安装在所述基座上，所述第二冷却组件位于所述铜盘的下方本实用新型在基座上设置第一冷却组件和第二冷却组件，并且第一冷却组件的气嘴对准铜盘的上端面，第二冷却组件设置在铜盘的下方，通过第一冷却组件和第二冷却组件共同对铜盘进行冷却，加快铜盘的冷却效率，提高设备的使用率以及芯片的测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 探针 | ||
【主权项】：
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