[实用新型]一种半蚀刻掩膜板结构有效

专利信息
申请号: 202021831801.X 申请日: 2020-08-26
公开(公告)号: CN212833993U 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 谭照明 申请(专利权)人: 深圳市鑫旺兴电子有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
代理公司: 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 代理人: 梁炎芳;谭雪婷
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种半蚀刻掩膜板结构,包括用于安装掩膜片的框架,框架包括相互平行的两竖边框、两横边框,竖边框两端开设一卡槽,横边框两端设有卡台,卡槽和卡台上开设有卡孔,卡孔内安装有固定销;还包括架设于两竖边框的支撑板,支撑板包括支撑部和滑动部,两竖边框表面中部开设一插入口,两竖边框内侧面开设一滑槽,滑槽与插入口连通,且滑槽上下两侧面开设有定位孔,滑动部设有弹性定位件;两横边框开设一支撑槽,掩膜片设于支撑板上方,且掩膜片两端架设于支撑槽,掩膜片与支撑板接触的位置焊接。本实用新型技术方案实现掩膜板的结构调节,提高掩膜片的安装稳定性。
搜索关键词: 一种 蚀刻 板结
【主权项】:
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