[实用新型]一种用于芯片分捡的吸附顶起机构有效

专利信息
申请号: 202021852241.6 申请日: 2020-08-31
公开(公告)号: CN213278058U 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 马荣花 申请(专利权)人: 北京硅科智能技术有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/67
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 杨玉廷
地址: 101125 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种用于芯片分捡的吸附顶起机构,包括偏心轴升降机构、X向微调机构和Y向微调机构,所述偏心轴升降机构包括电机、蓝膜吸附盘、顶针、顶针杆、顶起螺钉、偏心轴和轴承,所述顶针杆的上端安装有所述顶针,所述顶针的安装在蓝膜吸附盘的下方,所述顶针包括针座、针身和针筒,所述针座的上端安装有所述针身,所述针身的外部套有所述针筒,所述针筒和针座之间通过弹簧连接。通过在顶针上设置一个缓冲机构,在分拣机构前来抓取晶粒时,针筒先将晶粒的部分剥离,然后针身上升将晶粒的中央剥离,避免了针尖直接顶起晶粒由于受力点过小对晶粒造成损伤。
搜索关键词: 一种 用于 芯片 吸附 顶起 机构
【主权项】:
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