[实用新型]一种用于芯片分捡的吸附顶起机构有效
申请号: | 202021852241.6 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN213278058U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 马荣花 | 申请(专利权)人: | 北京硅科智能技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 杨玉廷 |
地址: | 101125 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于芯片分捡的吸附顶起机构,包括偏心轴升降机构、X向微调机构和Y向微调机构,所述偏心轴升降机构包括电机、蓝膜吸附盘、顶针、顶针杆、顶起螺钉、偏心轴和轴承,所述顶针杆的上端安装有所述顶针,所述顶针的安装在蓝膜吸附盘的下方,所述顶针包括针座、针身和针筒,所述针座的上端安装有所述针身,所述针身的外部套有所述针筒,所述针筒和针座之间通过弹簧连接。通过在顶针上设置一个缓冲机构,在分拣机构前来抓取晶粒时,针筒先将晶粒的部分剥离,然后针身上升将晶粒的中央剥离,避免了针尖直接顶起晶粒由于受力点过小对晶粒造成损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 吸附 顶起 机构 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造