[实用新型]一种激光切割后晶圆片的储存装置有效

专利信息
申请号: 202021861060.X 申请日: 2020-08-31
公开(公告)号: CN212570949U 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 巩铁建;陶为银 申请(专利权)人: 河南通用智能装备有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 郑州中原专利事务所有限公司 41109 代理人: 范小方
地址: 450001 河南省郑州市高新技术产业*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种激光切割后晶圆片的储存装置,包括上盖、扣锁和保护板,所述上盖通过扣锁与盒身相连接在一起,且上盖上方安装有把手,所述盒身内部填充有保护板,且保护板中间镶嵌有存放盘,所述存放盘内部设置有晶圆片槽,且晶圆片槽左右两侧安装有卡扣,所述卡扣一端连接有防磨垫,且顶杆下端连接有钢珠,所述钢珠下端贴合有弹簧片,且弹簧片两侧安装有凹槽。该激光切割后晶圆片的储存装置,设置了14个存放盒,可以储存较多的晶圆片,晶圆片槽都安装有卡扣装置,利于晶圆片的固定,且存放盒四周包裹着保护板,防止碰撞、冲击,存放盒底部安装有反弹自锁器,方便存放盒的固定,上盖边缘处设置有密封垫,防止杂质进入,更好的保证晶圆片储存。
搜索关键词: 一种 激光 切割 后晶圆片 储存 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南通用智能装备有限公司,未经河南通用智能装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202021861060.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top