[实用新型]一种晶圆使用装载机构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆使用装载机构，包括机械臂和晶圆盒，所述机械臂的设置在底座上，机械臂的内部设置吸管，机械臂的头部设置吸盘，吸盘底部设置传送带，传送带左右两侧设置伺服电机，所述晶圆盒设置在传送带右侧的晶圆盒放置台上，晶圆盒放置台底部设置支腿。该晶圆使用装载机构，结构设置合理，将加工好的晶圆放置在传送带上，晶圆在传送带的带动下传送至机械臂位置，机械臂控制器控制机械臂向下运动至吸盘与晶圆接触，然后吸盘控制器控制吸盘将晶圆吸住，机械臂控制器控制机械臂提起晶圆将晶圆吊送至晶圆盒内，此过程不仅节省了大量人力，还提高了晶圆的装载效率，如此便能够更好的保证晶圆的高效装载，促进晶圆行业的发展。