[实用新型]一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构有效

专利信息
申请号: 202021867030.X 申请日: 2020-09-01
公开(公告)号: CN213023939U 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 王群 申请(专利权)人: 江苏九迪激光装备科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构,包括光刻机本体和控制箱,所述光刻机本体的正面开设有矩形凹槽,且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴,所述第一阻尼转轴的表面固定连接有第一转动套,所述控制箱的上表面固定连接有第二阻尼转轴,所述第二阻尼转轴的表面转动连接有第二转动套,所述第一转动套的表面固定连接有伸缩管。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构,通过设置锁紧装置和开关按钮,便于按动开关按钮使线圈带电,同时使硅钢柱的表面带磁并吸引锁紧舌,使该直写式光刻机控制面板可以通过锁紧舌的伸缩来锁紧和拉出,从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷。
搜索关键词: 一种 直写式 光刻 控制 面板 机构
【主权项】:
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