[实用新型]一种带有弹性密封件的涂层装置

摘要

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种带有弹性密封件的涂层装置，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩的底壁，液冷载台组件包括液冷载台和空心支撑管，空心支撑管滑动设置于真空罩底座冷盘，空心支撑管的上端突伸至真空罩内部并与液冷载台固定连接，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台和真空罩底座冷盘均为中空结构，冷却液导入液冷载台和真空罩底座冷盘内部以实现冷却，弹性密封件套设于空心支撑管外侧，弹性密封件的一端与空心支撑管远离液冷载台的一端密封连接，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装。