[实用新型]一种带有液冷载台组件的真空涂层机构

摘要

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，弹性密封件的一端与液冷载台组件密封安装，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装，真空罩包括真空罩本体、抽气密封法兰、温度检测器以及密封挡门。本实用新型能够有效、快速地对液冷载台和真空罩实现降温，使得液冷载台能够长期处于高温环境下工作，避免液冷载台烧损，还能够加强液冷载台组件与真空罩安装的密封性，刀具表面的薄膜沉积效果好。