[实用新型]一种涂层机的真空加热装置

摘要

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种涂层机的真空加热装置，其包括真空罩、热源组件以及升降载料台，热源组件包括热丝网架、发热丝拉紧件、多个液冷电极棒以及多个发热丝，热丝网架承载于多个液冷电极棒上，液冷电极棒用于对发热丝供电，冷却液导入液冷电极棒内部以实现冷却，发热丝拉紧件固定安装于热丝网架，发热丝拉紧件用于拉紧多个发热丝，升降载料台位于热丝网架下方并用于承载刀具，发热丝用于对工件加热。本实用新型能够在接入电流的同时实现冷却，避免电极棒烧坏，精确控制刀具与发热丝的受热距离，对多个发热丝进行拉紧而控制多个发热丝的张紧度保持一致，实现沉积温度均匀，有效避免刀柄出现黑化现象，提高良品率。