[实用新型]一种锁紧结构及光刻机有效
| 申请号： | 202021872271.3 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN213338321U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 肖自雄;张晓辉;裴强胜;霍荣标;龙腾云;区俊杰;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大方舟科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385 | 代理人： | 田帅 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例属于激光雕刻领域，涉及一种锁紧结构及光刻机。包括机架、承片台组件、滚珠丝杠组件和电磁制动组件，所述承片台组件滑动设置在机架上，所述滚珠丝杠组件和电磁制动组件均固定在机架上，并且所述滚珠丝杠组件和电磁制动组件通过制动间隙相配合；本申请还涉及一种光刻机。本申请提供的技术方案能够通过电磁制动组件消除制动间隙与丝杠本体的端部的前端紧密配合，停止丝杠本体的转动，以锁定丝杠螺母在丝杠轴向上的运动，从而锁定承片台组件，因为丝杠螺母与丝杠本体之间通过滚珠相配合，所以震动范围非常小，保证了承片台组件在静止状态下震动幅度小，且在曝光工艺的可接受范围之内，该方案对承片台的锁紧效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 光刻 | ||
【主权项】：
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