[实用新型]一种新型半导体芯片研磨装置有效

专利信息
申请号: 202021890787.0 申请日: 2020-09-02
公开(公告)号: CN213498498U 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 无锡嘉翌晗机电科技有限公司
主分类号: B24B37/08 分类号: B24B37/08;B24B37/28;B24B37/34;B24B47/00;F16F15/067
代理公司: 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 代理人: 崔巍
地址: 214028 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种新型半导体芯片研磨装置,包括机架,机架内侧顶端固定连接有液压伸缩轴,且液压伸缩轴下端固定连接有连接板,连接板上端左右两侧均贯穿有导向杆,且连接板下端左右两侧均固定连接有缓冲弹簧,连接板下端中部固定连接有转动电机,且转动电机下端转动连接有磨轮,机架内侧左右两端的上部均固定连接有支板,且机架内侧左右两端的下部均转动连接有阻尼转轴;通过伸缩气缸的伸缩,且结合夹板便于夹紧多种长度及厚度的半导体芯片,保证了夹紧的适用范围,且通过凹形架的上下翻转,无需再次拆卸安装半导体芯片,利于快速对半导体芯片的正面及反面进行打磨,保证了打磨工作的便捷性。
搜索关键词: 一种 新型 半导体 芯片 研磨 装置
【主权项】:
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