[实用新型]一种全新的离子源定位系统有效
| 申请号： | 202021895454.7 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN212783372U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 时昌茹 | 申请（专利权）人： | 深圳市绿谷离子镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人： | 涂萧恺 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种全新的离子源定位系统，包括基片腔室（1）和离子源腔室（2），基片腔室（1）和离子源腔室（2）为可拆卸结构，其特征在于：所述离子源腔室（2）底部设有移动定位机构（4），所述移动定位机构（4）包括移动部和固定部，所述移动部与所述离子源腔室（2）连接并且能够在所述固定部上通过滑动的方式做直线运动，从而实现所述基片腔室（1）和所述离子源腔室（2）的拆卸分离和定位连接。本实用新型通过滑块结构对离子源腔室进行定位的，确保离子源腔室水平移动和定位精准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全新 离子源 定位 系统 | ||
【主权项】：
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