[实用新型]标准式离子镀膜系统有效
| 申请号： | 202021909349.4 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN213357728U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 依君;粱惠鹏;王君 | 申请（专利权）人： | 江苏爱科斯真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 李翠 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市经济技术开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体而言，涉及一种标准式离子镀膜系统。标准式离子镀膜系统包括主体模块和电源模块；主体模块包括主体框架、电控柜、镀膜室以及抽真空泵组，电控柜连接主体框架并形成主体骨架，主体骨架内部形成容置空间，镀膜室和抽真空泵组位于容置空间内；抽真空泵组和镀膜室分别与电源模块电连接。在安装过程中，由于电控柜、镀膜室以及抽真空泵组等主要功能模块集成于主体模块，在运输过程中无需对各个功能模块进行拆分，即保持了各个功能模块之间的连接，待运输至安装现场时，只需将电源模块与各个功能模块进行连接即可，节省了人力和时间，降低了离子镀膜系统对运输装置、安装场地以及安装人员的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 标准 离子 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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