[实用新型]一种芯片制造氧化设备的导流板

摘要

本实用新型公开了一种芯片制造氧化设备的导流板，包括底板和顶板，所述底板上固定有四个立筒，所述立筒内均滑动套接有滑动柱，所述滑动柱固定连接有支撑板、且固定在支撑板的底部，所述底板的中心位置处固定有液压缸，所述液压缸的输出轴固定在支撑板的底部，所述支撑板上方安装有端部安装组件和侧边安装组件，所述端部安装组件和侧边安装组件组合固定有导流板，所述顶板底部通过连接架悬挂有芯片，所述芯片位于导流板的上方。本实用新型操作简单、便于更换导流板、有效的控制了气流流过导流板时的大小。