[实用新型]研磨垫及研磨系统有效
| 申请号： | 202021930262.5 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN213561898U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 姜继铭 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张娜;刘芳 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型实施方式提供一种研磨垫及研磨系统。研磨垫具有研磨液连通区域以及彼此相对的研磨面及背面，且包括多个穿孔及至少一连接沟槽。多个穿孔位于研磨液连通区域内，且分别贯穿研磨面及背面。至少一连接沟槽配置于背面中且位于研磨液连通区域内，以及至少一连接沟槽连接多个穿孔。研磨液连通区域位于研磨垫的半径20％至50％之内的中央区域。所述研磨垫及研磨系统使研磨液具有特别的流场分布。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 系统 | ||
【主权项】：
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