[实用新型]进样装置有效
| 申请号： | 202021935217.9 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN213091551U | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 刘波;张雷 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种进样装置，将第二进样部件与第二存储腔室密合，利用第一驱动器及第二进样部件移动，第二进样部件通过移动可从第一存储腔室中将样品自动转移至第二存储腔室中，避免了人工操作导致空气入侵第二存储腔室的风险，提高了第二存储腔室的气密性，降低了第二存储腔室漏气时破坏与之相连的设备中的昂贵零件的风险，进而提高了检测设备精度及寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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