[实用新型]一种真空镀膜靶材安装结构有效
| 申请号： | 202021941732.8 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN213172548U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 冯伟;吴海平;杜晓颖;杜国才 | 申请（专利权）人： | 深圳市长兴荣五金制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广东众行知识产权代理事务所(普通合伙) 44677 | 代理人： | 林少波 |
| 地址： | 518116 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜靶材安装结构，包括靶头和磁铁块，所述靶头下固定连接有密封圆板，所述密封圆板内嵌设有水管，所述密封圆板的下方固定连接有上盖板，所述靶管内设置有塑胶管，所述塑胶管底部固定连接有U型杆，所述U型杆上固定连接有防滑套，所述防滑套上开设有防滑纹，所述塑胶管内设置有热缩胶，所述热缩胶内嵌设有铁氟龙片，所述铁氟龙片内固定连接有磁铁座，所述磁铁块固定连接在磁铁座外侧。该真空镀膜靶材安装结构设置有热缩胶和铁氟龙片，在将上盖板旋上之前，向磁铁座与塑胶管之间注入热缩胶，热缩胶能保护磁铁块受外力影响时，不会脱离磁铁座，且能够有效避免磁铁块与塑胶管，靶管直接摩擦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 安装 结构 | ||
【主权项】：
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