[实用新型]一种制绒机用槽体组件及制绒机

摘要

本实用新型涉及制绒机技术领域，公开一种制绒机用槽体组件及制绒机。其中制绒机用槽体组件包括反应槽、定位柱和冷却管，其中花篮和反应液置于反应槽内，硅片置于花篮内；定位柱竖直置于反应槽内，反应槽的至少两侧设置有定位柱，花篮能套设于定位柱上；冷却管绕设于反应槽的内壁，冷却管内流通有冷却液。本实用新型通过设置定位柱，避免花篮以及花篮内的硅片在反应槽内水平漂浮，有利于使反应液与硅片充分反应，保证反应后的硅片表面的一致性，有利于反应后对花篮的取出，提高工作效率；通过设置冷却管，用于对反应槽内的反应液进行冷却，有利于使冷却液保持合适温度，进而保证工艺的稳定性，保证较高的良品率。