[实用新型]加热器工作环境模拟测试装置有效

专利信息
申请号: 202021964122.X 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN212931930U 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 孙晓蒙;贺贤汉;李晶;赖章田 申请(专利权)人: 上海汉虹精密机械有限公司
主分类号: G01M99/00 分类号: G01M99/00
代理公司: 上海申浩律师事务所 31280 代理人: 吕琳琳
地址: 200444 上海市宝*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及机械技术领域。加热器工作环境模拟测试装置,包括测试腔,测试腔为用于摆放待测试加热器的空间,还包括真空系统,真空系统包括真空管路以及机械真空泵,机械真空泵的吸气口通过真空管路与测试腔对接导通;还包括气源输送系统,气源输送系统包括用于输入工艺气体的气源输入管路,气源输入管路与测试腔对接导通;还包括传感系统,传感系统包括用于检测测试腔内气压的气压传感器以及用于检测待测试加热器的制热面的温度的温度传感器,气压传感器安装在测试腔内,温度传感器的感应面与待测试加热器的制热面接触。通过本装置,便于实现不同工作环境的模拟,满足不同的工作需求的加热器的测试。
搜索关键词: 加热器 工作 环境模拟 测试 装置
【主权项】:
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