[实用新型]一种光电子元件制造的光刻装置有效
| 申请号： | 202021965706.9 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN212873187U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王浩鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏紫石机械制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226682 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光电子元件制造的光刻装置，包括固定机构、光刻机构，所述固定机构包括工作台、固定座、支撑座，所述工作台上方设置有所述固定座，所述固定座下端面前后对称各设置有一个所述支撑座，所述固定座一侧设置有固定架，所述固定架内侧安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆远离所述固定架一端安装有夹块，所述固定架远离所述固定座一侧设置有侧板，所述侧板侧面安装有一号电机。本实用新型结构简单，设计合理，生产成本低，不仅方便对工件进行固定，同时方便对工件两面进行光刻，节省人力，极大的提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电子 元件 制造 光刻 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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