[实用新型]玻璃面板小批量样品用湿刻机

摘要

本实用新型公开的一种玻璃面板小批量样品用湿刻机，用于对玻璃面板的湿刻工艺。玻璃面板小批量样品用湿刻机包括湿刻单元、水洗单元、干燥单元、驱动单元。湿刻单元设有用于放置刻蚀液的湿刻槽。水洗单元设于湿刻单元末端，用于将从湿刻槽出来的玻璃面板进行水洗。干燥单元设于水洗单元的末端。驱动单元安装于湿刻、水洗、干燥单元的上方，驱动单元包括水平驱动组件和垂直升降组件，水平驱动单元用于将玻璃面板从湿刻单元、水洗单元、干燥单元之间得水平传送，垂直升降组件用于玻璃面板在湿刻单元或水洗单元、或干燥单元上方的垂直升降。本技术方案可以对铜湿刻工艺导入前的各项药液研究需求及制程调试需求，极大的缩短客户铜刻蚀工艺的导入时间。