[实用新型]工件盘镀膜装置有效
| 申请号： | 202021976857.4 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN213013079U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;闫海涛 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 安娜 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种工件盘镀膜装置，包括：真空室，所述真空室的底部安装有蒸发源和/或溅射源；公转传动件，设置于所述真空室内，并与设置于所述真空室外的公转电机传动连接；自转电机，设置于所述真空室内，并通过密封件与所述真空室的其余空间相隔离，所述自转电机与所述公转传动件相连接，并随所述公转传动件绕所述公转电机的轴线公转；所述自转电机的电机线依次经所述公转传动件内部、所述公转电机的空心轴内部由导电滑环导出至所述真空室外。自转电机和公转传动件均通过空心轴的气连通结构与外界大气相连，使得自转电机可以采用非真空电机的形式，使用普通电机即可，从而降低了设备成本，延长了电机的使用寿命，保证了镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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