[实用新型]一种晶圆膜厚检测设备的定位夹持机构

摘要

本实用新型涉及晶圆膜检测设备技术领域，具体涉及一种晶圆膜厚检测设备的定位夹持机构，包括主体机构，所述主体机构包括外壳，所述外壳的内部通过轴承做插设有升降机构，所述升降机构包括第一连接杆、齿轮、第一伺服电机、皮带轮，所述第一连接杆的表面固定套接有齿轮，所述第一连接杆的背面固定有第一伺服电机，所述第一连接杆的表面套接有皮带轮，所述外壳的内部插设有夹持组件。本实用新型设置有第三连接杆和第四连接杆，配合第五连接杆和第二固定板使夹持更加方便，通过第三连接杆的向上移动，使两组橡皮垫闭合，将晶圆膜夹持，相比较机械手结构更简单，保养维护成本低，提升装置的工作效率，使夹持晶圆膜更加的方便。