[实用新型]一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩

摘要

本实用新型涉及镀膜机附属装置的技术领域，特别是涉及一种光学真空镀膜机用深冷屏蔽罩；其可进行靶材与屏蔽罩之间间距全面调节；包括环形座、内螺纹管、外螺纹管、四组内罩体板、扩径环和四组外罩体板，四组内罩体板均布于环形座的顶端，四组内罩体板的底端均与环形座的顶端固定连接，内螺纹管的顶端与环形座的底端固定连接，四组内罩体板的底部合围成锥形体，四组内罩体板的上部合围成圆柱体，扩径环的底端与外螺纹管的顶端固定连接，外螺纹管的底端自内螺纹管的底端螺装穿过外螺纹管自外螺纹管的底端穿出，四组外罩体板分别固定设置于四组内罩体板的外壁上，四组外罩体板位于四组内罩体板之间的间距处。