[实用新型]光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备有效
| 申请号： | 202021997509.5 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN213257740U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 刘雷 | 申请（专利权）人： | 刘雷 |
| 主分类号： | B23K26/50 | 分类号： | B23K26/50;B23K26/073;B23K26/064;B23K26/57;H01L21/67;H01L33/00 |
| 代理公司： | 东莞市科凯伟成知识产权代理有限公司 44627 | 代理人： | 刘晓峰 |
| 地址： | 413500 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型属于激光剥离设备技术领域，尤其涉及一种光路结构和蓝宝石衬底激光剥离设备，包括激光器、光路、振镜和连接于该振镜下方的场镜；光路包括光路框架；激光器和振镜分别位于光路框架的两侧并与光路框架连通；光路框架内依次设有多个反射部件、扩束镜和整形镜，激光器发出的激光束经过反射部件反射引导，使激光束依次穿过扩束镜、整形镜、振镜和场镜，从而使得激光束从场镜射出；由于整形镜和场镜均能对激光束进行聚焦，使得激光束的聚焦焦深长达1000～1200μm，对于蓝宝石基板上有翘曲的晶圆，在一定范围内也可保证激光束具有很稳定的剥离效果，使蓝宝石衬底剥离完全，从而使得剥离蓝宝石衬底的效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 蓝宝石 衬底 激光 剥离 设备 | ||
【主权项】：
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