[实用新型]一种热处理装置有效
| 申请号： | 202022001964.1 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN213147405U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 马兰 | 申请（专利权）人： | 量伙半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D1/00;F27D9/00;F27D11/02;F27D19/00;H01L21/324 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 刘亭 |
| 地址： | 201302 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种热处理装置，包括加热腔室、开合装置、加热装置、固定装置和导热板，加热腔室包括上腔室和下腔室，加热装置位于上腔室，上腔室的一侧和下腔室的一侧转动连接；开合装置位于上腔室的外壁；导热板位于上腔室和下腔室之间，导热板的侧壁设有凸出部；上腔室的侧壁设有至少一组固定孔，加热装置设置于固定孔中，加热装置的末端从固定孔中伸出，并延伸至固定装置的外部；固定装置连接于加热腔室的外壁，用于将加热装置固定在固定孔内。本实用新型的有益效果在于：通过设置开合装置，从而实现热处理装置的开合，便于对导热板进行维护；另外，设置带有凸出部的导热板，可以安全和便捷地取出和放置导热板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热处理 装置 | ||
【主权项】：
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