[实用新型]一种螺纹卧式组装硅舟有效
| 申请号： | 202022008761.5 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN214244673U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 范明明;韩颖超;李长苏 | 申请（专利权）人： | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 郑汝珍 |
| 地址： | 310051 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型，一种螺纹卧式组装硅舟，涉及半导体制造技术领域，包括：挡板，沟棒，沟棒包括第一连接端、承接段和第二连接端，挡板上设有沿其厚度方向贯通的导向孔，沟棒与挡板通过紧固件可拆卸连接，硅舟为可拆装的模块化结构，拆装便捷且转运方便，对空间的占用较小，且装载的硅片数量较多，解决了现有技术中硅舟稳定性较差，装载硅片数量较少，以及拆卸组装难度较大的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 螺纹 卧式 组装 | ||
【主权项】：
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