[实用新型]一种半导体加工清洗用机械手

摘要

本实用新型公开了一种半导体加工清洗用机械手，包括底座、机械手和伺服电机，所述机械手固定安装于底座上，所述机械手的自由端固定安装有连接板，所述伺服电机固定安装于连接板的顶部，所述连接板的底部开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均滑动设有滑块，两块所述滑块的底部均固定安装有夹板，两块所述夹板的相向面上均固定安装有固定块，所述固定块内开设有腔室，所述腔室内滑动设有贯穿其侧壁设置的缓冲机构。本实用新型通过夹板、固定块、腔室、缓冲弹簧、连接块和缓冲板之间的配合使用，实现了在夹取过程中，通过缓冲弹簧实现缓冲的目的，从而防止半导体被夹坏。