[实用新型]一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置有效
申请号: | 202022022244.3 | 申请日: | 2020-09-16 |
公开(公告)号: | CN213596451U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 杨金海 | 申请(专利权)人: | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 王家蕾 |
地址: | 314413 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种晶体生长炉用防漏硅接漏桶装置,包括:防漏盘,包括溢流槽和溢流孔,溢流孔成对设置且对称设于溢流槽内,防漏盘设于石英坩埚的下方且石英坩埚侧壁的投影落入在溢流槽内;接料桶,接料桶通过导流管与溢流孔连通。本实用新型具有安全性高、方便使用的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 防漏 硅接漏 桶装 | ||
【主权项】:
暂无信息
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