[实用新型]一种碳化硅外延反应室侧壁部件有效
| 申请号： | 202022031451.5 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN213624470U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 李凯希;冯淦;赵建辉 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/36 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 黄斌 |
| 地址： | 361001 福建省厦门市火炬高*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种碳化硅外延反应室侧壁部件，包括分别安装于碳化硅外延反应室相对两侧壁上且镜像设置的两侧壁挡板，其特征在于：所述侧壁挡板由至少两拼接件沿前后方向拼接而成，每一拼接件的前端和/或后端上具有与相邻拼接件进行拼接的拼接部，且每一侧壁挡板的所有拼接件相互拼接后形成沿前后方向延伸、且连续的内壁面，已解决现有侧壁部件更换成本高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 反应 侧壁 部件 | ||
【主权项】：
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