[实用新型]一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉有效
申请号: | 202022031777.8 | 申请日: | 2020-09-16 |
公开(公告)号: | CN213596452U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 杨金海 | 申请(专利权)人: | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 王家蕾 |
地址: | 314413 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉,包括:上炉体或隔离阀;防晶棒掉落夹持装置,若干防晶棒掉落夹持装置均匀设于上炉体或隔离阀上,防晶棒掉落夹持装置包括驱动机构、夹紧块,驱动机构的输出轴通过连接杆与夹紧块相连,在驱动机构的驱动下,夹紧块沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。本实用新型具有机构简单、维护方便、可靠性高的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 带防晶棒 掉落 夹持 装置 晶体生长 | ||
【主权项】:
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