[实用新型]一种半导体材料加工用边角打磨装置有效
申请号: | 202022039088.1 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN213470607U | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 李硕 | 申请(专利权)人: | 芷江积成电子有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B9/04;B24B55/06;B24B41/06;B24B47/12 |
代理公司: | 湖南环创光达知识产权代理有限公司 43264 | 代理人: | 隋亭亭 |
地址: | 419100 湖南省怀化市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体材料加工用边角打磨装置,属于半导体加工装置技术领域,包括底壳、透明罩、限位机构、壳体、控制机构和定位机构,所述底壳的上表面贴合有透明罩,透明罩的左右两侧面均固定连接有限位机构,限位机构固定连接在底壳的上表面,所述透明罩的上表面卡接有定位套。本实用新型中,通过设置透明罩,透明罩可以将整个底壳罩住,因此打磨工作可以在透明罩内进行,因此粉尘可以被有效束缚并无法在空气中扩散,通过设置清理机构、底壳和漏料孔,清理机构可以清理底壳上的粉尘,粉尘可以通过漏料孔掉落至底壳内部,因此掉落在底壳表面的粉尘可以被有效处理,从而使得粉尘不会对工人的工作造成影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体材料 工用 边角 打磨 装置 | ||
【主权项】:
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