[实用新型]一种真空蒸发镀膜装置有效

专利信息
申请号: 202022042689.8 申请日: 2020-09-17
公开(公告)号: CN213327804U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 李长栋;魏承亚;魏俊杰 申请(专利权)人: 山东沐东真空科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 252000 山东省聊城市*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种真空蒸发镀膜装置,包括壳体和蒸发室,壳体的内底壁与蒸发室固定连接,蒸发室内部设置有加热设备,蒸发室的顶端开设有投射孔,壳体的内侧壁固定连接有固定板,固定板的一侧固定连接有齿条,齿条的表面啮合有齿轮,齿轮的内壁固定连接有电机,电机的两端转动连接有活动块,活动块远离固定板的一端固定连接有基板。本实用新型在镀膜完成后,冷气管通过电子阀向壳体内输入冷气进行降温,因外界的气压大于内部,通过单向阀防止外界的空气进入,当内部的气压大于外界时,内部的气体通过单向阀向外排气,同时温度检测仪检测排出气体的温度,当排出气体温度低于外界温度时,停止散热,达到提高散热效果的目的。
搜索关键词: 一种 真空 蒸发 镀膜 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东沐东真空科技有限公司,未经山东沐东真空科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202022042689.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top