[实用新型]一种真空蒸发镀膜装置有效
申请号: | 202022042689.8 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN213327804U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 李长栋;魏承亚;魏俊杰 | 申请(专利权)人: | 山东沐东真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 252000 山东省聊城市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜装置,包括壳体和蒸发室,壳体的内底壁与蒸发室固定连接,蒸发室内部设置有加热设备,蒸发室的顶端开设有投射孔,壳体的内侧壁固定连接有固定板,固定板的一侧固定连接有齿条,齿条的表面啮合有齿轮,齿轮的内壁固定连接有电机,电机的两端转动连接有活动块,活动块远离固定板的一端固定连接有基板。本实用新型在镀膜完成后,冷气管通过电子阀向壳体内输入冷气进行降温,因外界的气压大于内部,通过单向阀防止外界的空气进入,当内部的气压大于外界时,内部的气体通过单向阀向外排气,同时温度检测仪检测排出气体的温度,当排出气体温度低于外界温度时,停止散热,达到提高散热效果的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 蒸发 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
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