[实用新型]平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置

摘要

本实用新型公开了一种平板式PECVD设备的局部送气可调的辉光放电装置，包括上电极板、下电极板和送气机构，反应室由腔盖和腔体构成，上电极板安装在腔盖上，下电极板设于腔体的底板上，上电极板包括底盒和多个主管路，底盒的下端面为喷淋板，多个主管路呈矩阵式分布在底盒的上端面，送机机构包括多个送气组件，送气组件与主管路一一对应，送气组件包括送气支管以及设于送气支管上的流量计和控制阀，送气支管与对应的主管路连接。本实用新型将送气机构分成多组送气支路，通过流量计和控制阀调节局部区域的进气速率、气流大小，均衡上电极板的气体量，实现反应室的镀膜速率保持一致，能够大幅度提高镀膜的均匀性，进而大大提高了电池的转换效率。