[实用新型]基板的支撑装置及PECVD设备

摘要

本实用新型提供一种基板的支撑装置及PECVD设备，基板的支撑装置，包括基座和与基座上配合设置的可升降的支撑机构，基座设有多个通孔，通孔的内侧壁嵌套有第一磁性件；支撑机构包括多个支撑件，支撑件上具有与第一磁性件的磁性相同的第二磁性件，支撑件与通孔一一对应设置，以使支撑件的顶端可经通孔伸出至基座表面，并保持支撑件的外侧壁与通孔的内侧壁之间具有间隙。本实用新型提供的基板的支撑装置及PECVD设备，能减少支撑件与通孔摩擦产生的颗粒，提高产品的良品率。