[实用新型]一种晶圆测试装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆测试装置，包括箱体，所述箱体内部设置有测试组件，所述测试组件包括液压缸、圆筒、电机、套杆、探针、传动轴、圆盘、连接轴、连杆、滑块和定位杆，所述液压缸输出端与圆筒底部固定连接，所述圆筒外侧设置有槽口，所述圆筒内壁固定连接有夹块，所述电机设置于圆筒顶端，所述电机输出端固定连接有丝杆。本实用新型通过连杆摆动可以带动滑块前后移动，从而带动定位杆前后移动，有利于将测试完成的晶圆推出，通过定位杆和探针的配合可以将测试完成的晶圆自动推出，并且可以快速地进行下一次测试，从而在实际作业中提高了测试的效率，并且此装置结构紧凑新颖，便于操作，具有较强的实用性。