[实用新型]一种化学气相淀积反应室用气体注入环

摘要

本实用新型公开了一种化学气相淀积反应室用气体注入环，包括气体注入环本体、进气旋钮和反应室本体，所述气体注入环本体的内环设置有调节结构，所述调节结构包括喷气管、翻转轴、锁紧螺母、翻转固定座、进气口和波纹管，所述气体注入环本体的内环均匀连通有喷气管，所述喷气管与气体注入环本体之间设置有翻转固定座，本实用新型通过在喷气管的顶端设置有翻转轴，喷气管与翻转轴固定，利用翻转轴可在翻转固定座上进行伸缩，伸缩完成后并利用两侧锁紧螺母进行锁紧，在翻转的同时，由于采用波纹管连接喷气管和气体注入环本体，因此可将喷气管随意翻转，不会造成气体测出的情况，继而改变喷气角度，提升喷气均匀性。