[实用新型]一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统有效
申请号: | 202022125287.4 | 申请日: | 2020-09-24 |
公开(公告)号: | CN213093216U | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 张天;陈友好;田军 | 申请(专利权)人: | 苏州迈为科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人: | 韦超峰 |
地址: | 215200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统,属于太阳能硅片生产领域。本实用新型的一种硅片翻转装置,包括沿第一方向设置的第一缓冲轨道、翻转机构和第二换从轨道,所述翻转机构位于所述第一缓冲轨道和第二缓冲轨道之间;因而可以通过对花篮进行翻转的方式,实现多个硅片的批量翻转,且缓冲轨道的设置可以允许翻转机构以较慢的速度对花篮进行翻转而不影响其他轨道上硅片的运输,从而在提高硅片翻转输送的效率的同时,提高硅片在翻转过程中的安全性。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 翻转 装置 输送 系统 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的